并不在意这一点,而是详细地和沈总管解释了起来:“asml在光刻机领域的霸主地位,并没有多少年”
“这其中,也不全是asml的功劳,它的70%的技术都是白头鹰产品和白头鹰技术”
“比如说是镜头来自蔡司,asml拥有蔡司的20%多的股份,CYmer的极紫外光源排名世界前列,被asml收购,光掩模板、机电设备、激光器、微激光系统、离子注入机套件、准分子激光源、电子束检测设备等等,要么是被asml收购,要么就是asml入股”
“正是因为有这些尖端技术的加持,所以才能让asml的发展如此迅速,全球第一个拿出了沉浸式EUV光刻机,领先市场”
“我们国家的光刻机想要超过达到世界一流水平,就必须要从这些配件一个个地开始突破,只有这样,才能达到这个水平”
“这是我们跟在asml后面发展,想要追赶上来的唯一办法”
“如果这么做的话,根据我的估计,最低也需要十五年才能追赶上来”
“但如果是我们换一种思维呢!”
“asml把光刻机做的这么小,所以它才需要这么多高端的设备和仪器”
“它之所以做小,是为了可以出口售卖,卖给芯片厂商,为了方便运输,为了方便搬运”
“但如果我们抛弃运输,售卖的想法呢”
“直接把小小的一个光刻机变成一座光刻工厂,这样一来,就能避开光刻机的很多技术要求了”
“起码,这么做的话,我们就未必需要最尖端的技术来组装”
“同时,一台光刻机每天二十四小时工作下来,生产出来的合格芯片,也只有几万枚而已”
“但是,如果由光刻工厂来生产的话,生产效率能在光刻机的基础上翻上最低十倍之多”
沈总管并没有因为王东来说出来的这么多优势而兴奋,依旧保持着冷静
“你说的都是优点,我想半导体领域应该也有人能想到这一点,但是却没有人这么做,也没有这样的尝试,这里面肯定还是存在着一些问题”
“从目前的情况来看,应该是坏处多于好处,所以你说的光刻工厂可行性暂且不说,你如何能证明它建造完成之后,可以超过光刻机”
听到沈总管指出这个问题,王东来脸上浮现出一丝笑意
“领导,您说的确实是一个很重要的问题”
“关于这一点,我也可以做一个简单的解释”
“光刻机也存在优点和缺点,它的缺点是光源相干性极差,使用反射镜滤光单镜光源损耗率30%,总损耗98%,ASML使用的反射镜全世界只有蔡司能够生产”
“第二,光刻机的锡污染以及光路散热工程造成易损件成本增加,高NA升级到600瓦光源功率,使得整机成本增加到四倍”
“第三